河北东同光电科技有限公司

1.靶材技术指标：

纯    度：3-4 N

主要成分：ZnO：Al₂O₃= 97:3 [可根据用户要求调整Al₂O₃掺杂比 (0-4) wt%]

相对密度：d≥ 98%

理论密度：ρ= 5.6 g•cm^-3

实际密度：ρ≥ 5.5 g•cm^-3

致密性均一：从横断面看无白点或大颗粒

    2.镀膜性能：

方块电阻：膜厚900 nm左右时，方阻≤ 10Ω/□

电 阻 率：ρ≤ 9×10^-4 Ω•cm

可见光透过率：T≥ 80%