生长方法:直拉
透过率:89 - 92
纯度:≥ 99.999 %
密度:2.33 g / cm
型号/掺杂剂:单晶 / P型 / 硼
结构性:紧密型
晶向:< 100 > / < 111 >
电阻率(Ω·cm):0.1~ 1 径向电阻率变化(%):P 型 < 6
氧含量与公差ppm:5.0 - 7.8 * + 0.5
径向氧含量变化(%)ppm:< 5
碳含量 ppm:≤ 2.0
金属铁含量 ppm:≤ 1.0
表面金属 ppm 铜/铬/铁/镍≤5.0 铝/锌/钾/钙≤2.0
多晶硅靶材